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熱門關鍵詞: 電子測量  生物微流控  等離子表面處理設備   薄膜分析設備  單細胞操縱分析    生物微流控

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SR100 薄膜分析儀

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產品描述
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簡介
規格參數
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應用系統
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簡介


  SR系列薄膜分析產品來自美國AST公司,其可以實現薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數也可以實現測量,為人們針對薄膜進行分析提供了極大便利。

 

  產品詳情:

基本功能

1,測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數
2,實現薄膜均勻性檢測
3,實現反射、投射以及顏色測量

產品特點

  強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫;
  簡便、易行的可視化測試界面,可根據用戶需求設置不同的參數;
  快捷、準確、穩定的參數測試;
  支持多功能配件集成以及定制;
  支持不同水平的用戶控制模式;
  支持多功能模擬計算等等。

系統配置

  型號:SR100R
  探測器: 2048像素的CCD線陣列
  光源:高穩定性、長壽命的鹵素燈
  光傳送方式:光纖
  臺架平臺:特殊處理鋁合金,能夠很容易的調節樣品重量,200mmx200mm的大小
  軟件: TFProbe 2.2版本的軟件
  通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連
  測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
  電腦硬件要求:P3以上、最低50 MB的空間
  電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
  保修:一年的整機及零備件保修

 

規格尺寸


  波長范圍:250nm到1100 nm
  光斑尺寸:500μm至5mm
  樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
  基板尺寸:最多可至50毫米厚
  測量厚度范圍*:2nm~50μm
  測量時間:最快2毫秒
  精確度*:優于0.5%(通過使用相同的光學常數,讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較)
  重復性誤差*:小于1 ?

可選配件項

  用于傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR100RT) )
  最低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP100)
  在多個位置下,多個通道用于同時測量 (SR100xX)
  在超過200或300毫米晶片上所進行的統一測繪(SRM100-200/300)

 

應用系統


  主要應用于透光薄膜分析類領域:

  1 玻璃鍍膜領域(LowE、太陽能…)

  2 半導體制造(PR,Oxide, Nitride…)

  3 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)

  4 醫學,生物薄膜及材料領域等

  5 油墨,礦物學,顏料,調色劑等

  6 醫藥,中間設備

  7 光學涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

  8 半導體化合物

  9 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜

  10 非晶體,納米材料和結晶硅

未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

  圖片:

  

  簡介:

  SR系列薄膜分析產品來自美國AST公司,其可以實現薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數也可以實現測量,為人們針對薄膜進行分析提供了極大便利。

 

  產品詳情:

基本功能

1,測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數
2,實現薄膜均勻性檢測
3,實現反射、投射以及顏色測量

產品特點

  強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫;
  簡便、易行的可視化測試界面,可根據用戶需求設置不同的參數;
  快捷、準確、穩定的參數測試;
  支持多功能配件集成以及定制;
  支持不同水平的用戶控制模式;
  支持多功能模擬計算等等。

系統配置

  型號:SR100R
  探測器: 2048像素的CCD線陣列
  光源:高穩定性、長壽命的鹵素燈
  光傳送方式:光纖
  臺架平臺:特殊處理鋁合金,能夠很容易的調節樣品重量,200mmx200mm的大小
  軟件: TFProbe 2.2版本的軟件
  通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連
  測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
  電腦硬件要求:P3以上、最低50 MB的空間
  電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
  保修:一年的整機及零備件保修

 

  規格參數:

  波長范圍:250nm到1100 nm
  光斑尺寸:500μm至5mm
  樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
  基板尺寸:最多可至50毫米厚
  測量厚度范圍*:2nm~50μm
  測量時間:最快2毫秒
  精確度*:優于0.5%(通過使用相同的光學常數,讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較)
  重復性誤差*:小于1 ?

可選配件項

  用于傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR100RT) )
  最低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP100)
  在多個位置下,多個通道用于同時測量 (SR100xX)
  在超過200或300毫米晶片上所進行的統一測繪(SRM100-200/300)

 

  應用系統:

  主要應用于透光薄膜分析類領域:

  1 玻璃鍍膜領域(LowE、太陽能…)

  2 半導體制造(PR,Oxide, Nitride…)

  3 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)

  4 醫學,生物薄膜及材料領域等

  5 油墨,礦物學,顏料,調色劑等

  6 醫藥,中間設備

  7 光學涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

  8 半導體化合物

  9 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜

  10 非晶體,納米材料和結晶硅

暫未實現,敬請期待
暫未實現,敬請期待

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